福州氦質(zhì)譜檢漏儀-博為光電(推薦商家)
年泄漏率大的標(biāo)準(zhǔn)漏孔,要注意經(jīng)常校準(zhǔn)。如果發(fā)現(xiàn)異常,要用外置漏孔校準(zhǔn)。注意使用的環(huán)境。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的生產(chǎn)、檢測(cè),都是在20-25℃的室溫下進(jìn)行。尤其有些標(biāo)準(zhǔn)漏孔,對(duì)溫度特別敏感。溫度每變化1℃,標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率就有3%以上的誤差。例如,夏天,室溫達(dá)到30℃,這種標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率誤差增加30%。高壓強(qiáng)下檢漏:檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右,對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。自動(dòng)化程度高:自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰,自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn),量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換,自動(dòng)數(shù)據(jù)處理,可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制,一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過程。有些生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,氦質(zhì)譜檢漏儀,達(dá)到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。
正壓漏孔的校準(zhǔn)
正壓漏孔校準(zhǔn)裝置一般采用定容法和恒壓法兩種工作原理。在此基礎(chǔ)上又研究了累積比較法、標(biāo)準(zhǔn)氣體法、流量比較法、壓力比較法、質(zhì)譜計(jì)法等各種方法,但都以定容法和恒壓法為基礎(chǔ)。1997年美國(guó)材料和測(cè)試學(xué)會(huì)“校準(zhǔn)氣體參考漏孔的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范”。該規(guī)范毛細(xì)管—水柱位移法為恒壓法,氣體累積法為定容法。歐洲標(biāo)準(zhǔn)化1995年(centc138wfg/6n3rev3)也采用類似毛細(xì)管—水柱位移法。瑞士balzers公司在1995年建立了基于恒壓法的正壓漏孔的校準(zhǔn)系統(tǒng)。我國(guó)是采用恒壓法測(cè)量,測(cè)量范圍10-7—10-5pam3/s。我們采用質(zhì)譜比較法校準(zhǔn),準(zhǔn)確數(shù)據(jù)由510所科委計(jì)量站提供。
真空漏孔用于正壓時(shí),該漏孔的標(biāo)定值要改變。正壓檢測(cè)漏率范圍10-3—10-8pam3/s是過渡流。過渡流的計(jì)算較復(fù)雜,如用真空漏孔替代正壓條件進(jìn)行換算,工程應(yīng)用上較為不便,因此必須正壓檢漏時(shí)用正壓標(biāo)準(zhǔn)漏孔做比較準(zhǔn)。正壓漏孔在使用時(shí),其供氣壓力氦氣濃度應(yīng)一致。正壓漏孔的研究國(guó)內(nèi)外起步均比較晚,但它已在大型燃料貯箱、運(yùn)載火箭氫氧系統(tǒng)成功應(yīng)用。但是正壓漏孔的制作、校準(zhǔn)、應(yīng)用與其氣流特性均需在實(shí)踐中進(jìn)一步完善發(fā)展。
氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理
氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜分析原理,以氦為示蹤氣體,對(duì)真空設(shè)備和密封器件的漏隙進(jìn)行定位或定量、定性測(cè)量的完整系統(tǒng)。
我們知道氣體在電子的轟擊下會(huì)產(chǎn)生帶電粒子,帶電粒子在電場(chǎng)的作用下獲得能量做加速動(dòng)力,而在磁場(chǎng)的作用下將做圓周運(yùn)動(dòng),而具有不同質(zhì)荷比的離子其運(yùn)動(dòng)半徑不同。這就使一束帶電粒子在磁場(chǎng)的作用下按荷質(zhì)比分離,這門研究使不同質(zhì)量的粒子在電磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)并依質(zhì)荷比進(jìn)行分離的學(xué)科稱為質(zhì)譜學(xué)。根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的儀器叫質(zhì)譜儀。氦質(zhì)譜檢漏儀是質(zhì)譜儀器中的一種,將質(zhì)譜儀用于檢漏技術(shù)是質(zhì)譜儀在真空密封檢測(cè)技術(shù)中的重要應(yīng)用。
檢漏的基本任務(wù)靠采取一些標(biāo)準(zhǔn)檢漏技術(shù)來完成,而采用哪種技術(shù)要根據(jù)被檢件的結(jié)構(gòu)、檢漏的經(jīng)濟(jì)效益及檢漏系統(tǒng)的性質(zhì)來決定。
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